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【专题报道】
浅谈磁控溅射是物理气相沉积的一种
2024-07-22
磁控溅射是物理气相沉积的一种。一般的溅射法可被用于制备金属、半导体、绝缘体等多材料,且具有设备简单、易于控制、镀膜面积大和附着力强等优点。临沂双成电源科技有限公司带你了解更多!磁控溅射的工作原理是指电子在电场E的作用下,在飞向基片过程中与氩原子发生碰撞,使其电离产生出Ar正离子和新的电子;新电子飞向基片,Ar离子在电场...
【专题报道】
磁控溅射系统的工作原理是什么
2024-05-16
临沂双成电源科技公司的工作人员告诉大家,磁控溅射系统的工作原理是指电子在电场E的作用下,在飞向基片过程中与氩原子发生碰撞,使其电离产生出Ar正离子和新的电子;新电子飞向基片,Ar离子在电场作用下加速飞向阴极靶,并以高能量轰击靶表面,使靶材发生溅射。磁控溅射是入射粒子和靶的碰撞过程。入射粒子在靶中经历复杂的散射过程,和靶...
【专题报道】
简析磁控溅射的发展分析
2023-11-27
临沂双成电源科技有限公司
【专题报道】
如何解决磁控溅射薄膜不均匀性问题
2023-08-14
临沂双成电源科技有限公司
【专题报道】
浅析磁控溅射有哪些种类
2022-12-07
磁控溅射系统的原理是电子在电场E的作用下飞向衬底的过程中与氩原子发生碰撞,使其电离产生ar正离子和新的电子。Ar离子在电场作用下向阴极靶加速,以高能轰击靶表面,从而溅射靶材。 该技术包括许多类型。每种方法都有不同的工作原理和应用对象。然而,它们有一个共同点:磁场和电场之间的相互作用使电子围绕靶表面旋转,从而...
【专题报道】
磁控溅射的发展分析介绍
2022-11-20
辉光等离子体溅射的基本过程是在辉光等离子体中的高能离子作用下,将负电极的靶原子从靶中溅射出来,然后凝聚在衬底上形成薄膜;在这个过程中,靶表面同时发射出二次电子,起到电子作用维持等离子体稳定存在的关键作用。溅射技术的出现和应用经历了多个阶段。起初,它是简单的二极和三极放电溅射沉积。经过30多年的发展,磁控溅射技术已...
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