中频溅射电源
物理技术指标:
电源功率:30/40/60/80/100KW
输入电压:380v±5%、50HZ、三相四线交流电
冷却方式:水冷+风冷
输出电压:≤800V
输出方式:交流正弦波
输出特征:恒流
输出频率:40KHZ
通讯方式:模拟量
电源工作环境:环境温度0-40℃。
环境湿度,相对温度≤80%
空气干燥,清洁,无粉尘,无腐蚀性,易燃性气体,通风良好。
冷却水:清洁不含矿物质软化水,且保持进出水通畅。
冷却水进水温度20-30℃。
冷却水水压1.5-3.0kg/c㎡