中频溅射电源

中频溅射电源


物理技术指标:

电源功率:30/40/60/80/100KW

输入电压:380v±5%、50HZ、三相四线交流电

冷却方式:水冷+风冷

输出电压:≤800V

输出方式:交流正弦波

输出特征:恒流

输出频率:40KHZ

通讯方式:模拟量


电源工作环境:环境温度0-40℃。

              环境湿度,相对温度≤80%

              空气干燥,清洁,无粉尘,无腐蚀性,易燃性气体,通风良好。

冷却水:清洁不含矿物质软化水,且保持进出水通畅。

        冷却水进水温度20-30℃。

        冷却水水压1.5-3.0kg/c㎡ 


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