直流溅射电源

物理技术指标：

电源功率：20/30/40/60/80/100KW

冷却方式：水冷+风冷

输出电压：≤800V

输出特征：恒流

通讯方式：模拟量

电源工作环境：环境温度0-40℃。

              环境湿度，相对温度≤80%

              空气干燥，清洁，无粉尘，无腐蚀性，易燃性气体，通风良好。

冷却水：清洁不含矿物质软化水，且保持进出水通畅。

        冷却水进水温度20-30℃。

        冷却水水压1.5-3.0kg/c㎡